產(chǎn)品導(dǎo)航Product
- 技術(shù)規(guī)格
- 品牌介紹
儀器參數(shù)：
一、粗糙度測(cè)量
X 軸 (驅(qū)動(dòng)部)
1.測(cè)量范圍: 100mm
2.分辨率: 0.5μm
3.長(zhǎng)度基準(zhǔn): 高精度位移傳感器
4.驅(qū)動(dòng)速度: 0 – 10mm/s
5.測(cè)量速度: 0.5 - 2mm/s
Z 軸 (立柱)
1.類型: 電動(dòng)操作
2.垂直移動(dòng): 350mm
檢測(cè)器
1.范圍／分辨率: 1000μm / 0.01μm
2.測(cè)針針尖: 2um
3.示值誤差: ±5%-—±7%
4.測(cè)量重復(fù)性: ± 3% -—-±5%
5.類型: 差動(dòng)電感式
6.驅(qū)動(dòng)裝置的控制:手動(dòng)或 PC 操作
評(píng)價(jià)參數(shù)
1.Ra, Rq, Rz, Ry, Rz(JIS), Ry(DIN), Rc, Rp, Rpmax, Rpi, Rv, Rvmax, Rvi,
Rt, Rti, R3z, R3zi, R3y, S, Pc (Ppi), Sm, HSC, mr, dc, plateau ratio,
mrd, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Da, Dq, la, lq, Sk, Ku, Lo, Lr, A1, A2
取樣長(zhǎng)度
1.0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm
數(shù)據(jù)補(bǔ)償功能
傾斜補(bǔ)償，R 平面(曲面) 補(bǔ)償，橢圓補(bǔ)償，拋物線補(bǔ)償，
雙曲線補(bǔ)償，二次曲線自動(dòng)補(bǔ)償，多項(xiàng)式補(bǔ)償，多項(xiàng)
式自動(dòng)補(bǔ)償
二、輪廓測(cè)量
1.測(cè)量范圍:≤100mm
2.分辨率: 0.1μm
3.測(cè)量速度: 0.2, 0.5、1mm/s
4.測(cè)量方向: 向后
5.指示精度: ±(3.5+2L/100)μm
* L = 測(cè)量長(zhǎng)度 (mm)
6.測(cè)針上／下運(yùn)作: 弧形運(yùn)動(dòng)
7.測(cè)針方向: 向下
8.測(cè)力: 10 - 30mN
9.測(cè)針針尖半徑: 25μm, 硬質(zhì)合金針尖
