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光切法顯微鏡原理

  光切法顯微鏡(Optical Sectioning Microscope),又稱光切顯微鏡或雙管顯微鏡,其原理主要基于光的反射、折射以及光切法測(cè)量技術(shù)。以下是該顯微鏡原理的詳細(xì)解釋:

  基本原理

  光切法顯微鏡利用光切原理來觀察和分析物體的微觀表面結(jié)構(gòu)。它通過將一束細(xì)窄的光帶(如狹縫光)以特定角度(如45°)投射到被測(cè)物體表面,光帶與物體表面相交形成的輪廓曲線影像即反映了被測(cè)表面的微觀幾何形狀。這種方法特別適用于測(cè)量金屬零件的平面或外圓表面的粗糙度。

  工作過程

  光源與投影:從光源發(fā)出的光線經(jīng)過聚光鏡照亮狹縫,形成一條細(xì)窄的光帶。這條光帶通過組合物鏡以特定角度(如45°)投影到被測(cè)表面上。

  反射與成像:光帶與被測(cè)表面相交,表面輪廓的波峰和波谷分別在不同點(diǎn)(如S點(diǎn)和S'點(diǎn))產(chǎn)生反射。這些反射光線再次通過組合物鏡,成像于觀察顯微鏡的分劃板上,形成具有與被測(cè)表面相同輪廓的齒狀亮帶。

  測(cè)量與分析:通過目鏡的分劃板與測(cè)微器,可以測(cè)量出齒狀亮帶上特定點(diǎn)(如a點(diǎn)和a'點(diǎn))之間的距離N。根據(jù)顯微鏡的放大倍率M,可以計(jì)算出被測(cè)表面的微觀平面度h。

  特點(diǎn)與應(yīng)用

  高分辨率:光切法顯微鏡能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率的成像,特別是在測(cè)量表面粗糙度方面,其測(cè)量范圍可達(dá)1.0μm~80μm。

  非接觸測(cè)量:由于采用光切法,避免了與被測(cè)表面的直接接觸,減少了測(cè)量誤差和表面損傷。

  廣泛應(yīng)用:光切法顯微鏡在金屬加工、機(jī)械制造、材料科學(xué)等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用,可用于測(cè)量各種加工表面的粗糙度。

  注意事項(xiàng)

  在使用光切法顯微鏡時(shí),應(yīng)選擇合適的照明裝置,并確保光源與被測(cè)物體的距離在適當(dāng)范圍內(nèi)。

  為防止灰塵污染和保持鏡頭的清晰度,應(yīng)定期檢查并及時(shí)清潔鏡頭。

  避免長時(shí)間連續(xù)工作,以防止設(shè)備過熱和損壞。

  綜上所述,光切法顯微鏡通過其獨(dú)特的測(cè)量原理和工作過程,為科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)提供了高精度、非接觸的微觀表面測(cè)量手段。

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